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PTFE和PFA含氟聚合物：顆粒污染和工藝純度的比較
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- 發布時間：2019-07-24 00:00
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PTFE和PFA含氟聚合物：顆粒污染和工藝純度的比較
現在先進的半導體正在以10nm及以下的器件幾何尺寸制造。在這些尺寸下，芯片的電路非常密集，顆粒污染可能導致芯片故障，這是一個主要問題。
考慮到顆粒污染，世界權威半導體研發機構對兩種高純度含氟聚合物PTFE和PFA進行了一些實驗，這些含氟聚合物通常用于半導體制造中的潤濕部件。這些實驗清楚地表明，PFA是用于在先進半導體制造應用中保持工藝純度的優異材料。
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